用于去除硅片經(jīng)擴(kuò)散工序后表面產(chǎn)生的磷硅玻璃
優(yōu)點(diǎn)：
1 經(jīng)典槽式結(jié)構(gòu)，方便維護(hù)
2 伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)保證舉升和橫移運(yùn)動(dòng)高速穩(wěn)定
3 可定制的工藝過(guò)程和干燥處理方式
4 完善的過(guò)程控制系統(tǒng)，全自動(dòng)控溫和配液補(bǔ)液
5 友好的視窗操作界面，可進(jìn)行參數(shù)設(shè)置、手動(dòng)控制、工藝轉(zhuǎn)換
 
技術(shù)參數(shù)
功能 去PSG 　
產(chǎn)品 單晶/多晶硅電池片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
產(chǎn)能 單籃節(jié)拍 450秒（可依客戶要求調(diào)整）
125mm*125mm 2400 pcs/hour
156mm*156mm 1600 pcs/hour
碎片率 <0.05%
配置 Siemens PLC，10寸彩色觸摸屏，急停按鈕、指示燈及系列報(bào)警系統(tǒng)，PP和SUS304槽體，GF閥門與管路配件，透明移門與視窗，特氟龍水槍，氣 槍等
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