最近拉制的硅棒﹐切片后出現(xiàn)了應力片﹐我們已經(jīng)回切了﹐按理說應該不是晶棒的問題了﹐但切片廠商硬說還是棒子的問題﹐所以不知道有什么辦法可以測試硅棒內部的應力﹐如果有﹐用什么儀器測試﹖
謝謝﹗