我國集成電路企業(yè)電子級多晶硅告別缺貨時代

經過一系列嚴格的驗證、檢測，5月初，江蘇鑫華半導體材料科技有限公司集成電路用高純度硅料小批量出口韓國，并已向國內部分晶圓加工廠批量供貨。這標志著鑫華半導體集成電路用硅料已經達到國際一流質量標準。這也是我國多晶硅制造企業(yè)首次向國際市場出口集成電路用高純度硅料。

2015年12月，國家集成電路產業(yè)投資基金大基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資成立江蘇鑫華半導體材料科技有限公司，打造國內首條5000噸半導體集成電路專用電子級多晶硅生產線。2017年11月8日，協(xié)鑫旗下鑫華半導體正式發(fā)布電子級多晶硅產品。鑫華電子級多晶硅的自主生產，標志著我國電子級多晶硅突破海外多年技術封鎖，填補國家集成電路產業(yè)專項一項空白。

集成電路用高純硅料項目是工業(yè)和信息化部強基工程中標項目、科技部02專項子項目，自去年電子級多晶硅產品面世以來，為了盡快推向市場，鑫華半導體與國內晶圓加工廠廣泛接觸，開展新產品測試，晶圓廠家測試后，再向下游的芯片廠家提出新產品測試。一層層測試下來，從眾多手機廠家反饋回來的信息，沒有想到國內多晶硅廠家能夠生產出等級這么高的產品，完全達到國際一流電子級多晶硅各項指標。

江蘇鑫華半導體材料科技有限公司總經理田新告訴記者，就電子級多晶硅而言，這是鑫華半導體研發(fā)團隊歷經317次電子級多晶硅生產試驗一年多時間，對629項技術、設備優(yōu)化改進，以70%的國產設備，系統(tǒng)性解決了雜質釋放問題，實現(xiàn)了原料端徹底祛除和控制雜質，并且全球首創(chuàng)采用自動化無接觸硅料處理系統(tǒng)。目前，公司正在就相關技術和工藝申請國家專利。在5月份實現(xiàn)對韓國出口高純度硅料后，鑫華半導體公司最近還要向我國臺灣地區(qū)的晶圓廠家批量供應集成電路用硅料。

現(xiàn)在，鑫華半導體公司第一條生產線的產能為5000噸，產品向國內國際市場鋪開后，可保證國內企業(yè)三至五年內電子級多晶硅不會缺貨。未來兩三年內，還將計劃再上一條5000噸生產線，以更好地滿足國際國內市場。