世紀(jì)新能源網(wǎng)（新能app）消息：近日，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司宣布其研發(fā)的全球首臺(tái)適用于TOPCon技術(shù)的ALD設(shè)備正式進(jìn)入量產(chǎn)階段。

微導(dǎo)研發(fā)的祝融系列(ZR4000X2)薄膜沉積設(shè)備平臺(tái)，用于Topcon電池生產(chǎn)技術(shù)，產(chǎn)品已交用戶使用，工藝參數(shù)的開發(fā)及優(yōu)化取得重大技術(shù)突破，隨著中試線的搭建完成，相應(yīng)的高效Topcon電池即將面世。

祝融系列作為全球首創(chuàng)兼容PERC與TOPCon兩種工藝技術(shù)的鍍膜平臺(tái)，其有著獨(dú)特的設(shè)計(jì)理念。平臺(tái)能很好地與目前量產(chǎn)PERC工藝兼容，技術(shù)首次通過一臺(tái)設(shè)備完成三種工藝，相對(duì)于傳統(tǒng)LPCVD設(shè)備沉積技術(shù)，將大幅改善N型電池正面多晶硅繞度面積與摻雜多晶硅鍍膜速率降低的影響。設(shè)備兼容性還體現(xiàn)于硅片尺寸，P型背面鈍化與N型電池正背面鈍化技術(shù)。


基于Topcon電池結(jié)構(gòu)，原有PERC線升級(jí)TOPCon路線，僅需新增一臺(tái)祝融平臺(tái)與一臺(tái)對(duì)應(yīng)的清洗機(jī)，以及一臺(tái)硼擴(kuò)（或者通過改造原PERC產(chǎn)線的磷擴(kuò)散機(jī)臺(tái)），就可以完成Topcon電池正面氧化鋁/氮化硅 ,背面遂穿氧化層/多晶硅與氮化硅的鈍化。體現(xiàn)了該設(shè)備優(yōu)異的整合能力與生產(chǎn)的可調(diào)度性。固定資產(chǎn)投入具備競(jìng)爭(zhēng)力，同時(shí)工藝路線也可簡(jiǎn)化與控制。

該設(shè)備平臺(tái)制備的鈍化膜體現(xiàn)了優(yōu)異的鍍膜均勻性和方阻均勻性，摻雜鈍化效果也明顯優(yōu)于傳統(tǒng)的磷擴(kuò)散工藝，同時(shí)在鈍化表現(xiàn)部分，也展現(xiàn)了綜合的正背面鈍化能力。

Topcon電池技術(shù)極大地簡(jiǎn)化了電池生產(chǎn)工藝，性價(jià)比高，且能量轉(zhuǎn)化率高，最有望作為下一代N型高效電池的切入點(diǎn)。