德國制造商Singulus Technologies(ETR:SNG)收獲了一份Singular PECVD工具訂單，這是新加坡太陽能研究所(Solar Energy Research Institute of Singapore，SERIS)訂購的一款用于晶體硅太陽能電池的ARC系統(tǒng)噴涂工具。

SINGULAR是SERIS一項投入數(shù)百萬美元研究硅片異質(zhì)結(jié)電池及其大批量投產(chǎn)的研究的一部分。

Singulus Technologies的首席執(zhí)行官Stefan Rinck工程博士表示：“SERIS是亞洲領先的太陽能研究機構(gòu)，Singulus Technologies非常自豪能同托馬斯•穆勒(Thomas Mueller)博士以及他的團隊在異質(zhì)結(jié)太陽能電池項目上進行合作。我們相信這項基于我們用于新型太陽能電池減反射噴涂的Singular ICP-PECVD噴涂工具技術(shù)的項目會獲得商業(yè)成功，它能降低太陽能電池的生產(chǎn)成本，為光伏行業(yè)提供一種更具成本效益的能量來源。”

SERIS運營著硅片太陽能電池和薄膜太陽能電池實驗生產(chǎn)線各一條。

Singular工具已經(jīng)證明了氮化硅ARC的能力，對目前太陽能電池的噴涂效率表現(xiàn)優(yōu)異，涂色均勻。在SERIS項目中，這些能力還將擴展到異質(zhì)結(jié)硅片太陽能電池的多層噴涂處理。這個工具的關鍵是PECVD光電直讀光譜儀。光電直讀光譜儀能夠更好的控制薄膜的組織和高速處理的沉積物密度。

該工具的理念是基于靜態(tài)內(nèi)聯(lián)生產(chǎn)結(jié)合內(nèi)基底板傳導以及靜態(tài)過程的優(yōu)點。還能進行復雜的多層噴涂，比如疊層或一連串基底板形成的斜坡。

這個研發(fā)項目由新加坡國家研究研究基金會(National Research Foundation of Singapore，NRF)和幾個國際伙伴共同出資。這個項目將硅片、設備材料供應商、設備和組件制造商匯集到一起進行合作。