愛發(fā)科（ULVAC）將從2009年7月1日開始銷售串聯(lián)結(jié)構(gòu)薄膜硅太陽(yáng)能電池的一條龍生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線可制造光電轉(zhuǎn)換效率為9％（采光面積內(nèi)）、外形尺寸為1100mm×1400mm的太陽(yáng)能電池模塊，模塊的最大輸出功率約為130W。該公司現(xiàn)有薄膜硅太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率約為7％，最大輸出功率約為100W。該公司表示，通過采用串聯(lián)結(jié)構(gòu)，可將單位輸出功率的生產(chǎn)成本降低約10％。

微結(jié)晶硅薄膜用PE-CVD設(shè)備“CIM-1400”的外觀?？壳懊娴氖堑装逅腿爰叭〕隹凇Ｆ浜竺嬉来螢榧虞d互鎖室、PE-CVD室及泵類等。

　　串聯(lián)結(jié)構(gòu)的薄膜硅太陽(yáng)能電池由非晶硅薄膜和微結(jié)晶硅薄膜構(gòu)成。其中，在僅由非結(jié)晶硅薄膜構(gòu)成的薄膜硅太陽(yáng)能電池方面，愛發(fā)科已經(jīng)提供了13條生產(chǎn)線。此次通過新開發(fā)微結(jié)晶硅薄膜使用的PE-CVD設(shè)備“CIM-1400”，實(shí)現(xiàn)了串聯(lián)結(jié)構(gòu)的制造。

　　CIM-1400的特點(diǎn)是在6塊底板上同時(shí)形成微結(jié)晶硅薄膜。在成膜室中縱向配置三個(gè)電極，將底板排列于各電極的兩側(cè)。在這種狀態(tài)下，以30nm/秒的成膜速度形成1.5μ～2μm厚的微結(jié)晶硅薄膜。通過同時(shí)成膜彌補(bǔ)了成膜速度低的缺陷。

　　通過使用8臺(tái)CIM-1400設(shè)立一條龍生產(chǎn)線，能夠以90秒的間隔生產(chǎn)串聯(lián)結(jié)構(gòu)的薄膜硅太陽(yáng)能電池。該條件下的年生產(chǎn)能力為32.5MW，一條龍生產(chǎn)線的價(jià)格約為90億日元。當(dāng)客戶已導(dǎo)入僅由非結(jié)晶硅薄膜構(gòu)成的薄膜硅太陽(yáng)能電池的一條龍生產(chǎn)線時(shí)，追加約40億日元的費(fèi)用，即可進(jìn)行串聯(lián)結(jié)構(gòu)的制造。愛發(fā)科力爭(zhēng)在2009年7月起的1年內(nèi)實(shí)現(xiàn)700億～1000億日元的銷售額。

　　6塊底板同時(shí)成膜的模塊，其穩(wěn)定前的最大輸出功率首批為150W、149W、149W、152W、150W、151W，第21批為149W、152W、150W、152W、149W、149W。其中，對(duì)最大輸出功率為151W的模塊進(jìn)行169小時(shí)光照使之穩(wěn)定后，最大輸出功率為135W。

　　愛發(fā)科還公布了今后的開發(fā)計(jì)劃。將通過提高輸出功率并降低材料成本，使單位輸出功率的制造成本降至現(xiàn)有薄膜硅太陽(yáng)能電池的58％。具體而言，在使模塊輸出功率達(dá)到147W的同時(shí)改變密封方法，并與材料廠商進(jìn)行合作，由此實(shí)現(xiàn)目標(biāo)。（記者：河合 基伸）