愛(ài)發(fā)科（ULVAC）上市了單機(jī)可評(píng)測(cè)6種特性的串聯(lián)薄膜硅太陽(yáng)能電池用評(píng)測(cè)裝置“MPEC-1300”。與評(píng)測(cè)不同的特性需要使用不同的裝置時(shí)相比，裝置成本及應(yīng)用成本均減少了1/2左右。支持尺寸為1100mm×1400mm的底板。MPEC-1300的價(jià)格方面，配備所有測(cè)量功能時(shí)為1億5000萬(wàn)日元。預(yù)計(jì)第一年度銷售10臺(tái)。該公司在太陽(yáng)能電池展會(huì)“PVJapan2009”上展板展示了該裝置。  

　　MPEC-1300可評(píng)測(cè)串聯(lián)結(jié)構(gòu)薄膜硅太陽(yáng)能電池制造工序所需的如下特性。（1）評(píng)測(cè)電極用金屬薄膜膜厚及面內(nèi)分布的“觸針式表面形狀測(cè)量”；（2）評(píng)測(cè)電極用金屬薄膜電阻率分布的“低電阻率測(cè)量”；（3）獲得微結(jié)晶硅薄膜的結(jié)晶化率，繪制面內(nèi)分布的“Raman光譜測(cè)量”；（4）三維評(píng)測(cè)激光劃片后及TCO膜表面的形狀的“三維測(cè)量”；（5）評(píng)測(cè)非晶硅薄膜光學(xué)常數(shù)的“光譜橢偏儀”；（6）評(píng)測(cè)非晶硅薄膜抵抗率分布的“高抵抗率測(cè)量”。

　　MPEC-1300并非嵌入生產(chǎn)線中在線使用，而是單獨(dú)設(shè)置，然后根據(jù)需求將底板搬到檢測(cè)設(shè)備處進(jìn)行測(cè)量。在這種情況下，如果評(píng)測(cè)裝置支持的底板尺寸較小，就會(huì)進(jìn)行破壞性檢測(cè)。而MPEC-1300仍可測(cè)量尺寸為1100mm×1400mm的底板。今后為了不斷提高薄膜太陽(yáng)能電池的質(zhì)量及性能，檢測(cè)工序?qū)⒃絹?lái)越重要。（特約撰稿人：北原 洋明）

串聯(lián)結(jié)構(gòu)薄膜硅太陽(yáng)能電池用評(píng)測(cè)裝置“MPEC-1300”

 
可評(píng)測(cè)制造工序所需的6種特性