該噴涂臺(tái)適用于多晶硅坩堝的氮化硅涂層的噴涂。噴槍采用美國產(chǎn)的精密可調(diào)非金屬噴槍，攪拌器采用非金屬材料制成，在噴涂過程中絕對(duì)沒有金屬雜質(zhì)進(jìn)入。

a、SiN攪拌器驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)；
攪拌速度：0～300rpm無級(jí)可調(diào)；
b、蠕動(dòng)泵驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)；
泵送方式：壓送；
c、溢流閥：溢流壓力可調(diào)；
d、噴槍霧化錐度：可調(diào)；
出口壓力：15～40psi
e、吹槍：出口壓力：80～100psi；
f、氣源供氣壓力：6～8kg/cm2，符合DIN ISO 8573-1 3標(biāo)準(zhǔn)，干燥、潔凈、去油的壓縮空氣；
g、脫模劑SiN粉末，粒度≤0.26mm；
h、純水（用戶自備）工業(yè)一級(jí)，符合GB/TII446.1-1997 EW-I要求；